강의계획서
| 교과목코드 | JEB01434 | 교과목명 | 반도체장비 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 전자공학과 | 교수 | 김가람 |
| 교수소속 | 전자공학과 | 이수학년 | 4학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | garamkim@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-324-1257 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | Introduction, Wafer preparation (LMS+과제) |
| 2주차 | Oxidation (LMS+과제) |
| 3주차 | Diffusion (LMS+과제) |
| 4주차 | Ion Implant (LMS+과제) |
| 5주차 | Photolithography (대면 or LMS) |
| 6주차 | Metallization (대면 or LMS) |
| 7주차 | CMP, Probing & testing (대면 or LMS) |
| 8주차 | 중간고사 (대면시험) |
| 9주차 | Vacuum (대면 or LMS+과제) |
| 10주차 | Plasma (대면 or LMS+과제) |
| 11주차 | Sputtering (대면 or LMS+과제) |
| 12주차 | CVD (대면 or LMS+과제) |
| 13주차 | Etch (대면 or LMS) |
| 14주차 | Integration (대면 or LMS) |
| 15주차 | 기말고사 (대면시험) |
| 16주차 |