강의계획서

교과목 설명 - 코드, 교과명, 학과, 교수, 과정구분, 전화번호등의 내용
교과목코드 JEB01434 교과목명 반도체장비
강의학과 전자공학과 교수 홍상진
교수소속 전자공학과 이수학년 4학년
과목구분 이론 과정구분
이메일 samhong@mju.ac.kr 전화번호 031-330-6374
테이블 이름 - 주차 및 주제내용
주차 주제
1주차 반도체개요
2주차 DRAM 메모리제품
3주차 NAND 메모리제품
4주차 Diffusion_Furnace 공정장비
5주차 Diffusion_Implant 공정장비
6주차 Thin Film_CVD 공정장비
7주차 Thin Film_PVD 공정장비
8주차 중간고사
9주차 Photo 공정장비 Part 1
10주차 Photo 공정장비 Part 2
11주차 Etch 공정장비 Part 1
12주차 Etch 공정장비 Part 2
13주차 Cleaning 공정장비
14주차 CMP 공정장비
15주차 기말고사
16주차 Metrology & Inspection